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PLUTO-80等離子清洗機(jī)，表面處理系統(tǒng)是專為研發(fā)而設(shè)計(jì)的全功能等離子體系統(tǒng)，13.56MHz射頻發(fā)生器和自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)電源在整個(gè)過(guò)程區(qū)域產(chǎn)生均勻的等離子體。Pluto80的真空腔可支持多達(dá)7個(gè)可調(diào)節(jié)樣品架，以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto80具有多種電極設(shè)置，可配置成RIE和PECVD模式，從而擴(kuò)大了該系統(tǒng)的應(yīng)用范圍，提供給用戶良好的靈活性。

PLUTO-160等離子體表面處理儀，等離子清洗機(jī)是一款為工業(yè)級(jí)客戶和研發(fā)型客戶使用需求設(shè)計(jì)的寬泛使用等離子表面處理設(shè)備，適用于等離子清洗，活化以及刻蝕等多種應(yīng)用，設(shè)備可在嚴(yán)苛環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行，獲得高度均一的使用效果。